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紅外光譜法在硅中氧碳含量測(cè)定上的應(yīng)用

日期: 2024-09-03
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紅外光譜法在硅中氧碳含量測(cè)定上的應(yīng)用

天津港東科技股份有限公司? 應(yīng)用分析部

摘要:?單晶硅材料可以用于制造太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體器件等,由于其應(yīng)用領(lǐng)域的特殊性要求其純度達(dá)到99.9999% 甚至更高。在單晶硅生產(chǎn)過程中由原料及方法等因素難以避免的引入了碳、氧等雜質(zhì),直接影響了單晶硅的性能。因而需對(duì)單晶硅材料中的氧碳含量進(jìn)行控制。

依據(jù)G B/T 1558-2009和G B/T 1557-2006,紅外光譜法可以在對(duì)單晶硅中代位碳和間隙氧進(jìn)行定性的同時(shí)進(jìn)行定量測(cè)定,具有快速、方便、準(zhǔn)確的優(yōu)點(diǎn)。

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關(guān)鍵詞:紅外光譜法 ?單晶硅 ?碳氧含量 ?定量測(cè)定

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點(diǎn)擊查看相關(guān)產(chǎn)品:FTIR-650傅里葉變換紅外光譜儀


·?原理

利用硅中代位碳原子和間隙氧原子分別在波數(shù)607.2cm -1和1107cm -1 有特征吸收,根據(jù)吸收峰的吸收系數(shù)來確定代位碳原子濃度和間隙氧原子的濃度。

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·?實(shí)驗(yàn)條件

儀器及附件:

??FTIR-650 傅里葉變換紅外光譜儀;

? ??氧碳測(cè)試附件 硅中氧碳測(cè)試支架;

? ? ?

測(cè)試條件:?

? ??分辨率: 2cm-1?

? ??掃描次數(shù): 64次

? ??檢測(cè)器: DTGS

? ? ??

其他:?

????千分尺:精確至0.01mm

? ??氫氟酸(HF):分析純(A.R)

? ??

·?樣品的制備

按GB/T 1558-2009和GB/T 1557-2006要求選取合適的參比硅片和樣品硅片,分別用氫氟酸(HF)去除表面的氧化物,測(cè)定其厚度后,待測(cè)。

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·?樣品測(cè)試

1、采用FTIR-650硅中氧碳含量測(cè)試軟件依次進(jìn)行如下操作:背景掃描→輸入?yún)⒈群穸取鷴呙鑵⒈葮悠贰斎霕悠泛穸取鷴?span microsoft="" line-height:="" style="color: rgb(38, 38, 38);">描樣品→記錄數(shù)據(jù);

2、重復(fù)樣品掃描2次并記錄數(shù)據(jù),得到如下圖所示結(jié)果。

紅外光譜法在硅中氧碳含量測(cè)定上的應(yīng)用

3、測(cè)試數(shù)據(jù)

紅外光譜法在硅中氧碳含量測(cè)定上的應(yīng)用

?

·?結(jié)論

因此, FTIR-650氧碳含量測(cè)試軟件可以方便、快速的對(duì)單晶硅材料中的代位碳原子、間隙氧原子進(jìn)行定量測(cè)定。



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